业务蓝本
某玄幻半导营造中小型制造业企业设在长四角的地区,主要是生孩子晶圆和IC芯片。在生孩子阶段中中,晶圆激光切割和磨光阶段中形成不少抛光液焦化废水,平均尾气直接排放标准量约50吨。主要是因为焦化废海里带有高酸度悬停物、复合铝离子及有机肥料增长剂,之间尾气直接排放标准会对环境会导致嚴重被污染,中小型制造业企业现需搭建专注外理配套设施。
生产废水组分及起源
机磨液生活污水常见是起起源晶圆代加工中的化学物质机制打蜡 (CMP)加工过程,常见是污染破坏物例如:
飘浮颗料物
:二腐蚀硅、腐蚀铝等精磨颗粒剂,颗粒直径在0.1-1μm,氧化还原电位自由高达2000mg/L。
铝合金阴离子
:铜、铁、锌等,位于磨光垫刹车盘磨损及晶圆外层不锈钢层,铜铁离子密度约50mg/L。
有机物增添剂
:包扩界面亲水性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性产物
:pH值上下波动大,经常在2-11相互间。
补救工艺技术工作流程
重要性废气因素,采用了“预操作+什么是生化+深度.操作”搭档艺:
调整池
:均衡教育水质量发电量,增添酸碱性调pH至一般的中性。
混泥土悠长岁月中
:污泥脱水PAC(缔合氯化铝)和PAM(pe塑料酰胺),我们要除漂浮物和氢氧化铁,沉降后SS我们要除率>90%。
离子液体空气氧化
:通过Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机的调用剂,COD我们要除率达60%。
菌物补救
:MBR膜怪物反应迟钝器进一次光降解乘余无机物,COD降下来100mg/L以上。
铝离子更换
:多功能树酯树脂吸附铜阴阳离子,水流铜含锌量<0.5mg/L。
砂滤+灵活性碳净化
:保持冒水明净,符合《废污水规范化排卸规范》(GB8978-1996)6级规范。
终结效率
系統开机运行平稳后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
回收率达40%,超过未达标尾气排放量标准,年缩短废渣尾气排放量标准1.10万吨。
加工处理代价约15元/吨,远超过市场最低值。