半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
新项目题材
该类目是在长江三角形沿海地区某国度级半导产业链幼儿园内,企业主重点工作85厘米和125厘米晶圆,日产尼桑量考虑2万片。不断地产能利用率提升自己,本来的的电镀废水治理 系统的已尚未考虑低能耗的要求,紧缺提高改进。顶目总投资加盟约1一千万元,的设计治理 业务能力为300吨/日,于2023年建于投入运营。
电镀废水化学物质及来原
该企业的晶圆小学划片制作工艺诞生的焦化废水一般收录以下的有效成分:
水刀切割流程中在使用的粉磨液农药残留物,具体化学成分为二被氧化硅小粒、面化学活化剂和有机的“添加物
晶圆面冲洗引发的含氟电镀废水,氟化合物浓硫酸浓度在80-120mg/L
少许血本属铁离子如铜、镍等,主要来起源于裁切软件磨坏
有机的容剂残留物,涵盖异丙醇、二甲苯等
pH值冲击越大,一般性在4-10区间内
治疗工序的流程
涉及焦化废水形态,设计制作利用"物理预加工+什么是生化加工+进一步加工"的团体技术:
调池
:稳定水硬度储水量,软件设置pH上线探测和自行投加系统化
沥青混凝土乳浊液
:添加PAC和PAM,避开浮窗物和悬浊液物料
气浮单无
:所采用溶气气浮艺进一点剔除的细小颗粒状和环节充分物
什么是生化办理
:主要采用MBR膜海洋生物发应器,污泥处理盐浓度维系在8000-10000mg/L
高度净化处理
:活性氧炭吸附剂+反加入制作工艺,为了确保出水出水标准
厌氧颗粒污泥处理
:板框压滤机厂家缺水,活性污泥水分含量率减少为60%下例
外理疗效
模式平稳正常运作后,冒水水污染破坏齐全以达到《电子无线化工水污染破坏物尾气释放规则规则》(GB39731-2020)独特尾气释放规则允许值请求:
COD<30mg/L
氟阳离子<5mg/L
悬屏物<10mg/L
巨资属每一项指数均压低最大限度
顶目历年可下降水工业废气产生量约COD 32吨、氟化物8.5吨,造纸废水处理水率达标75%上文,为公司企业节约使用有水费其他支出约140万元/年。