半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
品牌游戏 背景
该客户为环球进取的半导体电子器件测封客户,属于粤港澳大湾区形沿海地区,主耍使用高端大气电子器件的小学划片和封口测量。因为是时间环保性耍求要严格,客户关键执行焦化废水零排出大型项目工程。大型项目于2024年打火,2024年6月成立投运,治疗规模化为200吨/日,总的投资约200070万。
生产废水组分及从何而来
这项原则片区废污水有着下列作用:
高溶液渗透压氟化物,重点出自于晶圆打磨后的的清洗程序,氟亚铁离子溶液渗透压多达150-200mg/L
含微米级硅粉粉末,粒级多在100-500nm之中
有机化学加热器端差较高,COD在500-800mg/L
具有刺激性氢化物发生器血本属如铅、镉等
电阻率高,常见在2000-3000μS/cm
操作工艺技术工作流程
为构建零的排放要求,加工过程设计构思侧重点思考生活污水分类整理处理和资源共享再利用:
废水处理工艺分级自身设计
:将含氟焦化废污水与另外的焦化废污水分别处理
无机化学结晶除氟
:使用多级钙盐水解法,能默契配合提高效率水解池
高端空气氧化解决
:二氧化反应碳崔化氧化反应化学降解难除理设计物
膜浸提系统的
:利用DTRO碟管式反融合,原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 因数为10倍
化掉成果
:MVR设备饱和蒸汽再文件压缩多效冷疑器加工浓水
潮湿整体
:将结晶体盐潮湿后当作化工副產品外售
处理目的
体系作业数据表格界面显示:
氟化物清理率>99.9%,满水后氟阴阳离子<1mg/L
COD总避开率>98%,满水后COD<20mg/L
自然资源共享收购率>95%,仅诞生小量心得盐
第二年可环保再生资源回收高的品质造纸废水处理水约16万吨
成果盐饱和度达标轻工业级规则,保证 资原化充分利用
该项目这样不仅达成了废水处理方法零直接排放,还顺利通过物资回笼塑造了约80十万/年的木制托盘年化收益。