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半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理

工程项目经验 该半导体技术中小企业属于长半圆东北部,最主要产量85屏幕尺寸和125屏幕尺寸晶圆,日排出废出水量约2000吨。在产量新工艺多样化,废水下包含有多种类难分解充分物和高价属阴阳离子,民俗治理 技巧仍未实现不断严格的的排出标准化。 废水处理方法材料及的来源 化工废液主耍渠道于四位环节:晶圆激光切化工废液含带非常多硅粉和激光切液余留;化学工业自动化抛光剂化工废液中含固体硅和碾磨科粒;刻蚀清洁化工废液含带氟化物、铜铝离子等巨资属;光刻的工艺化工废液则含带光阻剂等充分污染源物。水质监测优缺点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物渗透压高(200-400mg/L)、悬屏物多且含带轻微巨资属。 治理 加工生产工艺图 按照"物理预整理+生物化整理+深度的整理"的组合构成加工过程: 调池义均水质检测发电量 水泥混凝土奠定的还原悬浮物物和悬浊液物 电化学积累法帮忙进行处理氟化物,污泥脱水钙盐出现氟化钙积累 油脂水解酸性反应池延长电镀废水可生物化学性 接触性脱色池挥发巧妙被污染的物 过滤性炭过滤塔实施进一步除理 膜隔离系统确保安全出液水污染稳定性高 面对含铜生活污水一个人制定阳离子相互交换系统软件,收废有币值的复合铜。 最后结果 工程俊工后正常运作固定,出水量COD<50mg/L,氟化物盐浓度值<5mg/L,铜铝离子盐浓度值<0.3mg/L,每项因素均不同于欧洲国家《电子器材行业水被污染源进行相关的尾气排放标准标准》(GB 39731-2020)。今年可才能减少COD进行的尾气排放标准约300吨,氟化物进行的尾气排放标准约50吨,收废铜五金约2吨,达成了工作环境前景与资金前景的互利共赢。

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