某半导体设备厂在制作具体步骤中运用硝酸钠系成像液，导致高盐浓度含NOx生产废水，日进行生产量50吨。生产废池中含NO2-将高达2000mg/L，且包含有进样器有机化学光刻胶营养成分，进行办理难易较少。 2. 工业废水组成成分及主要来源 成像工艺程序残液（主要危害源） 晶圆洗掉生产废水 烟气洗條塔引流 3. 治理 制作工艺具体流程 选取"高等 腐蚀+有级生物制品正确处理"的创新生产工艺： 活性氧阳极氧化 ：采用二钝化碳突发器行成O3，将难可降解可挥发物分析为小原子东西，同一将NO2-钝化为NO3-。 生态学膜生理反应釜（MBR） ： 首位级：美丽水世界条件下加药甲醇用于碳源，催进反反硝化细菌现象 第2级：好氧怪物膜进1步挥发卤素元素物 电生物学深入治理 ：运用钛基铝层工业，借助电解设备使用根除化解残留物污染源物。 4. 终于感觉 NOx总氮下降8mg/L有以下 COD稳定的在30mg/L以內 废气中水回用率达60% 程序启用耗电率调控在3.5kWh/吨水，较传统型生产工艺节能减排20%。