该例来自于华东中南部中南部某家中大型半导体器件研发制造业商家,主要是加工集成系统电路板治理 器。在加工过程中中,晶圆洁净、蚀刻等工步需用过多电子元器件级磷酸(溶解度≥85%),从行成高盐浓度含磷工业废水。制造业商家原先的治理 服务设施無法达到逐步严苛的摆放细则(TP≤0.5mg/L),急缺提高改变。
废渣组成及原因
废污水具体来原于二个重要环节:晶圆喷洗器废污水(占总需水量60%)、仪器喷洗器废污水(30%)还有地面砖喷洗器废污水(10%)。水质检测特证主要表现为:pH值1.5-2.5,总磷溶度800-1200mg/L,氟阴阳离子硫含量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并富含氢化物发生器巨资属(铜、锌等)。
清理加工步骤流程
顶目分为"预净化处理+耐腐蚀悠长岁月中+一级氧化物+高度滤出"的搭档加工:
调节器池
:均衡化水源排水量,现有pH百度在线检测技术系統
一个生理反应池
:污泥脱水白灰乳调控pH至8.5-9.0,转变成Ca3(PO4)2结晶
二次反应迟钝池
:“添加PAC和PAM加强水解酸化池疗效
斜板乳浊液池
:保证 固液隔离,工业废水渗入脱水过滤装置
Fenton氧化物象限
:H2O2与Fe²⁺推进效用化学降解有机肥料物
多材质活性炭全自动过滤器
:石英石砂+活性酶炭组合构成过滤装置,确保满水后清晰
亚铁离子调换整体
:进这一步剔除稳定度铝合金阴离子
进而特效
系统化操作动态平衡后,满水后污水水质:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟铝离子≤5mg/L,四项要求好于《电子元器件企业水严重环境有害特性排出的标准的标准》(GB 39731-2020)。几乎每年提高磷排出的标准约15吨,废水发生量较传统型艺降底40%,操作代价操作在8.3元/吨水。