投资项目游戏 背景
深圳某半导体技术厂生产方式整个过程中而且行成高硅工业废气处理(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟工业废气处理(F⁻ 200-300mg/L)。五种工业废气处理混和易于达成氟硅酸溶液,普通化学积累法未能平衡达到标准化。項目规范要求同步操作剔除硅和氟(废气排放规范化:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
污废水 组分及特征
主要的材料
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
来历
:晶圆刻蚀废污水、CMP考虑废污水、装备冲刷水
补救工艺过程过程
协同工作积累的时候
:
两极不良反应池
:
第1 级加药Ca(OH)₂转化CaF₂和CaSiO₃石雕文化沉淀;
二、级加药系统PAC(缔合氯化铝)提升水解酸化池。
固液剥离分阶段
:
超滤膜体系
:主要采用0.02μm孔直径膜引擎挪作他用悬浊液硅和微细沉淀物物。
高度脱氟步骤
:
灵活性脱色铝溶解塔
:残留氟正离子降解清掉。
从而视觉效果
喷水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远相较于政府标准化。
超滤膜模式通量稳固在15LMH,有机化学的洗涤频次延长时间至60天。
厌氧颗粒污泥经压滤后水分含量率<65%,可按通常情况固废处理应对。