广州某半导体设备存储芯片造成厂，晶圆手工加工进程中诞生含硅、氟的特俗生产废水办理工艺，结构设计办理投资额1200吨/日。生产废水办理工艺化学物质较为复杂，包含的纳米技术级硅颗粒剂及氢佛酸，传统式办理步骤难于考核标准。 废水处理工艺组成及从何而来 其主要影响物 ：悬浊液硅（100-500nm颗粒直径）、氟阴离子（200-300mg/L）、异丙醇 来历繁琐流程 ：晶圆刻蚀废渣处理（45%）、CMP耐腐蚀机增加光泽废渣处理（40%）、机械设备洗水（15%） 解决工艺设计方案 全新用于"化学工业放置+劳动防护膜分离处理"技術路线图： 钙盐沉积 ：加药系统氯化钙清掉氟铁离子（转为CaF2沉淀物中） 斜管沉淀池现象 ：混合斜板沉淀池剂实现了电解质溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm孔直径膜截流微细颗粒物 反融于程序 ：脱盐率>98%，收集率75% 挥发晶粒 ：浓水段满足氟化物零废气 从而成效 氟化物酸度：<8mg/L（如果低于地方二级规格10mg/L） 硅含磷量：<5mg/L 水的资源循环率：70%用做圆形冷却塔塔补水保湿 垃圾减轻：多效蒸发杂质量较传统文化技艺减小60%