硅片清洗废水怎么处理方法|硅片清洗废水处理案例
文章来源:lsxdl.com | | 阅读量:62 发表论文准确时间:2026-07-14
该企业的每年生产的三万吨日光能级多晶硅,酸处理工段制造含HF废气(pH≈1.5,氟铝离子酸度1200mg/L),日本环境部门管理规定要求建立废气临“0”排放物。产品需化解氟化物深层次彻底清除与分质晶体大问题。
污废水 性能特点解析
咸性较弱
:需损耗海量采和去除剂的计量
氟行态冗杂
:含HF、H2SiF6、SiF6²⁻等很多普遍存在组织形式
含硅胶材料体
:确立不稳定性的SiO2·nH2O电解质溶液管理体系
进行处理技艺流程步骤
分阶段中,全面实施"电学水解+MVR蒸发掉+微冻沉淀"技巧风格:
二级钙盐水解
:
七级加药系统Ca(OH)2至pH=3,自动生成CaF2(粒度10-15μm)
一级污泥脱水CaCl2+Al2(SO4)3,氟化物降低15mg/L
管式微滤
:0.1μm孔直径PTFE膜,虚报冒领发展物
MVR蒸馏器
:
文件风机温度8℃,蒸馏压差25kPa
冷凝器水TDS<50mg/L使用
制冷凝结装置
:
放缓温度下降至-5℃,挥发Na2SiF6纳米线(含量>92%)
晾干包装设计
:单晶体做副好产品外售
根本工艺全新
搭建等度pH的调节法,削减CaF2背包症状
减压蒸馏母液回到至结晶段,实现了天价属聚集剥离
进行316L冷库保温隔热板的表层+炭化硅防水质地对待HF耐腐蚀
业务成效
氟化物消除率99.9%,析出盐满足《重工业氟化钠》(HG/T5192-2017)要求
减压蒸馏冷凝器水所有的中水回用,第二年减少排放废水处理工艺5.20万吨
副企业产品出售收录相抵30%启动价格
技术应用对照与调试意见和建议
依据二个非常典型成功案例内见,硅片除污污废水 净化处理需依照详细水质监测亮点选取工艺设计:
废污水类别
核心思想一些问题
举荐加工制作工艺 搭档
投资的成本费(元/吨水)
打磨研磨机焦化废水
高SS、COD
混泥土+Fenton+MBR
2.8-3.6万
超软水分离纯化焦化废水
氢氧化铁硅、少量硼
正离子交流+2级RO+EDI
4.2-5.0万
酸处理工业废水
高氟、强碱
钙盐滤渣+MVR+冷藏沉淀
6.0-8.0万
现实工程施工中需关键点需要考虑:
硅特性浅析
:经由29Si NMR谱图判别硅无机化合物发生的形式
膜水污染控住
:采取硅被污染利用高zeta电势差膜相关材料
自然污泥处置条件
:氟化钙放置物能加工人品造萤石
近期最新系统利用性成长市场趋势体现,电催化剂的作用氧化反应系统利用性对难可降解可挥发硅取除率达到90%,而AI解毒剂加药设定软件系统能减少15-20%的无机化学解毒剂耗用,这类不断创新系统利用性就在产业授课顶目中效验利用实际效果。